Lam Research baru-baru ini memperkenalkan Dextro, robot kolaboratif pertama di dunia yang dirancang untuk pemeliharaan peralatan manufaktur semikonduktor, dan mengatakan bahwa robot tersebut telah digunakan oleh banyak pabrik terkemuka di dunia.
Cobot Dextro adalah unit lengan robot bergerak yang terletak di kereta dan dikendalikan oleh teknisi atau insinyur manufaktur untuk melakukan tiga tugas pemeliharaan peralatan utama dengan bantuan berbagai "perkakas tangan":
2x lebih akurat dibandingkan tangan manusia saat memasang dan mengompresi bahan habis pakai;
Pengencangan baut bersegel vakum presisi tinggi secara presisi, dengan tingkat kesalahan hingga 5% saat karyawan manusia melakukan tugas berulang ini dengan tangan;
Penumpukan polimer apa pun di dinding samping ruangan dapat dihilangkan secara otomatis tanpa membongkar ruang bawah, suatu tugas yang sebelumnya memerlukan peralatan pelindung pernafasan yang kuat.
Ini berarti bahwa Dextro dapat membantu teknisi fab melakukan tugas pemeliharaan yang sering kali memakan waktu, rawan kesalahan, atau berbahaya, meningkatkan keakuratan proses secara keseluruhan, mengurangi kebutuhan tenaga kerja, mengurangi pemborosan, mengurangi waktu henti, dan pada akhirnya meningkatkan hasil fab.
Lam mengatakan satu cobot Dextro dapat melayani 50 hingga 100 ruang perkakas Lam dan saat ini tersedia untuk mendukung perkakas etsa dielektrik seri Flex G/H, dengan perluasan ke perkakas dan aplikasi lain mulai tahun 2025.
Kim Young Ju, Wakil Presiden dan Kepala Tim Teknologi Memory Etching di Samsung Electronics, mengatakan:
Ketika peralatan manufaktur memerlukan pemeliharaan, penting untuk menyelesaikan pekerjaan dengan cepat dan efisien untuk menghindari waktu henti alat yang berkepanjangan dan biaya yang terbuang percuma.
Pemeliharaan Dextro yang bebas kesalahan membantu mendorong peningkatan variabilitas dan hasil produksi. Ini merupakan tonggak sejarah menarik bagi Samsung menuju pabriknya sendiri.